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薄膜結(jié)合強(qiáng)度劃-調(diào)質(zhì)結(jié)構(gòu)對(duì) Ti-TiN-Zr-ZrN 多層膜力學(xué)性能影響

來源:  華匯儀器   作者:  管理員   時(shí)間:  2021-10-22  點(diǎn)擊:   1596 次


薄膜結(jié)合強(qiáng)度劃-調(diào)質(zhì)結(jié)構(gòu)對(duì) Ti-TiN-Zr-ZrN 多層膜力學(xué)性能影響.pdf


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